特許
J-GLOBAL ID：200903066484653999
光イオン化質量分析装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-139654
公開番号（公開出願番号）：特開平10-334847
出願日： 1997年05月29日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】【課題】光イオン化質量分析装置の全検出効率の向上を図る。【解決手段】レーザビームを、集光機能を有する第1の光学素子を通過させて試料上で集光した後、集光機能を有する第2の光学素子を通過させ、入射光を光軸に垂直な方向へ変位させて反射する機能を有する第3の光学素子により反射させ、上記第2の光学素子により再び上記試料上で集光した後、上記第1の光学素子を通過させ、入射光を光軸に垂直な方向へ変位させて反射させる機能を有する第4の光学素子により反射させ、上記第1,第2,第3,第2,第1,第4の光学素子によって、その度に試料上で集光させることを複数回繰り返し、最後に上記いずれかの光学素子を通過せずに外に出す光学系を用いて中性粒子をイオン化する。
請求項（抜粋）：
イオンビームを試料に照射することによって生成する中性粒子にレーザ装置からのレーザ光を照射してその中性粒子をイオン化し、生成するイオンを質量分析計に導き質量分析する光イオン化質量分析装置において、レーザビームが集光機能を有する第1の光学素子を通過し上記試料上で集光した後、集光機能を有する第2の光学素子を通過し、レーザビームを入射光の光軸から少なくとも光軸に垂直な方向へ変位させて反射させる機能を有する第3の光学素子により反射され、上記第2の光学素子により再び上記試料上で集光後、上記第1の光学素子を通過し、レーザビームを入射光の光軸から少なくとも光軸に垂直な方向へ変位させて反射させる機能を有する第4の光学素子により反射され、再び、上記第1,第2,第3,第2,第1,第4の光学素子をへて、その度に試料上で集光されることを複数回繰り返し、最後に上記いずれかの光学素子を通過せずに外に出ていくような光学系を具備したことを特徴とする光イオン化質量分析装置。
IPC (4件)：
H01J 37/244
, G01N 23/225
, H01J 37/252
, H01J 49/04
H01J 37/244
, G01N 23/225
, H01J 37/252 B
, H01J 49/04
