特許
J-GLOBAL ID：200903066491922920
強誘電体膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-231786
公開番号（公開出願番号）：特開平8-091841
出願日： 1994年09月27日
公開日（公表日）： 1996年04月09日
要約：
【要約】【目的】 緻密で表面平滑性が良い強誘電体膜の製造方法を提供することを目的としている。【構成】 複合酸化物強誘電体を構成する金属元素の少なくとも1種のアルコキシドを含有する有機溶液と、複合酸化物強誘電体を構成する他の金属元素のアルコキシド又は塩もしくはその水和物を含有する有機溶液とをそれぞれ調製し、これらの溶液を混合した後、加温下に所定量の水を添加して前駆体溶液を調製し、該前駆体溶液を用いて強誘電体膜を形成させることからなる強誘電体膜の製造方法。
請求項（抜粋）：
複合酸化物強誘電体を構成する金属元素の少なくとも1種のアルコキシドを含有する有機溶液と、複合酸化物強誘電体を構成する他の金属元素のアルコキシド又は塩もしくはその水和物を含有する有機溶液とをそれぞれ調製し、これらの溶液を混合した後、加温下に所定量の水を添加して前駆体溶液を調製し、該前駆体溶液から強誘電体膜を形成させることからなる強誘電体膜の製造方法。
IPC (4件)：
C01G 29/00
, B01J 19/00
, C04B 35/46
, H01B 3/12
