特許

J-GLOBAL ID：200903066507648866

複合金属酸化物誘電体薄膜の製造方法

発明者： 増田 義行 ,  喜多 隆介 ,  荒井 尚子 ,  大谷 昇 ,  木場 正義
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-134026
公開番号（公開出願番号）：特開平8-007649
出願日： 1994年06月16日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：

【要約】【構成】 複合金属酸化物誘電体材料の成分元素から成るゾル状態の前駆体溶液合成し(ステップ1)、これをスピンコーティングにより薄膜化し(ステップ2)、このゾル状態の薄膜を乾燥して乾燥ゲルの薄膜とし(ステップ3)、その後、ゲル状態の薄膜中の有機物を熱分解して除去すると同時にゲル状態の薄膜を結晶化させる熱処理を施す(ステップ4)。【効果】 ゾルゲル法により、600°C以下という低い成膜温度で、単一配向の高い比誘電率を有する複合金属酸化物誘電体薄膜を製造することが可能となる。

請求項（抜粋）：

複合金属酸化物誘電体材料の成分元素から成るゾル状態の前駆体溶液を薄膜化し、該ゾル状態の薄膜を乾燥して乾燥ゲルの薄膜とした後、該ゲル状態の薄膜中の有機物を熱分解して除去すると同時に前記ゲル状態の薄膜を結晶化させる熱処理を施すことを特徴とする複合金属酸化物誘電体薄膜の製造方法。

IPC (6件)：

H01B 3/00 ,  C01B 13/14 ,  C01G 21/00 ,  C01G 23/00 ,  H01L 37/02 ,  H01L 41/24

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ジルコン酸チタン酸鉛薄膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-150010   出願人：平野眞一, 日本電気株式会社
• 特開平4-214071
  
• 特開昭58-002220