特許

J-GLOBAL ID：200903066508532039

露光装置

発明者： 中谷 隆司 ,  西川 寛 ,  川浦 英明
出願人/特許権者： 日本電産シンポ株式会社 ,  ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-091909
公開番号（公開出願番号）：特開平11-288098
出願日： 1998年04月03日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：

【要約】【課題】 縦型露光装置の実現化を図る。【解決手段】 露光されるべき基板2を供給するローダ部3と、露光されるべき基板2が配置される露光ステージ部4と、露光マスク5が配置されるマスクステージ部6と、上記基板及び露光マスクを移送する移載機200と、露光された基板2を排出するアンローダ部9とが夫々ユニット化されて配され、ローダ部3及びアンローダ部9では基板2が平置き状態で搬送され、移載機200では基板2及び露光マスク5が直立状態で移送されるように構成する。

請求項（抜粋）：

露光されるべき基板が配置される露光ステージ部と、露光マスクが配置されるマスクステージ部と、前記露光されるべき基板及び前記露光マスクを移送する移載機とが、夫々ユニット化されて配設され、前記移載機と前記露光ステージ部間で露光前又は露光後の前記基板を受け渡すための受け渡し機構、及び前記移載機と前記マスクステージ部間で前記露光マスクを受け渡すための受け渡し機構が設けられて成ることを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 501 ,  H01J 9/00 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/20 501 ,  H01J 9/00 ,  H01L 21/30 509