特許
J-GLOBAL ID：200903066508565930
後方散乱放射線を用いた表面近傍の欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河▲崎▼ 眞樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-071436
公開番号（公開出願番号）：特開2008-232765
出願日： 2007年03月19日
公開日（公表日）： 2008年10月02日
要約：
【課題】高い放射線エネルギを必要とせず、鋳物などの検査対象物の表面近傍の有無を、後方散乱放射線を利用して確実に反省することのできる装置を提供する。【解決手段】放射線発生源1からの放射線照射方向前方に、、検査対象物Wを保持して回転を与える回転テーブル2を設けるとともに、その回転テーブル2上の検査対象物Wからの後方散乱放射線をコリメータ3を介して検出する放射線検出器4、およびその放射線検出器4の出力を用いてCT画像を構築する再構成演算装置6を備え、検査対象物Wを、その検査領域Aの中心がコリメータ3の集光点に略一致し、かつ、その検査領域A内を回転テーブル2の回転軸Rが通るように当該回転テーブル2上に配置した状態で、その回転テーブル2を180°の角度範囲内で回転させて後方散乱放射線データを収集して断層像の構築に供することで、検査対象物Wを透過せずにその表面近傍の検査領域Aに到達する程度のエネルギの放射線を用いて表面近傍の欠陥の有無の検査を可能とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
放射線を検査対象物に照射して得られる後方散乱放射線を用いて、被検査物の表面近傍の欠陥の有無を検査する装置であって、
放射線発生源と、その放射線発生源からの放射線の照射方向前方に配置され、検査対象物を保持して放射線の照射方向に直交する軸を中心として当該検査対象物を回転させる回転テーブルと、その回転テーブル上の検査対象物からの後方散乱放射線を検出する放射線検出器と、その放射線検出器と上記回転テーブル上の検査対象物との間に設けられたコリメータと、上記放射線検出器からの出力を用いて上記回転軸に直交する平面に沿った検査対象物の断層像を構築する再構成演算装置を備えるとともに、
上記検査対象物を、その検査領域の中心が上記コリメータの集光点に略一致し、かつ、その検査領域内を上記回転軸が通るように上記回転テーブル上に配置した状態で、その回転テーブルを略180°以内の角度範囲内で回転させ、上記再構成演算装置は、その回転角度範囲内で得られる後方散乱放射線データを用いて、上記検査領域の断層像を構築することを特徴とする後方散乱放射線を用いた表面近傍の欠陥検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (11件)：
2G001AA01
, 2G001BA15
, 2G001CA01
, 2G001DA09
, 2G001HA08
, 2G001HA14
, 2G001JA08
, 2G001KA03
, 2G001LA02
, 2G001PA12
, 2G001SA02
