特許
J-GLOBAL ID：200903066508774458
静電容量センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐々木 宗治 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-104951
公開番号（公開出願番号）：特開平11-326091
出願日： 1999年04月13日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：
【要約】【課題】 局所分析測定を可能にし、測定量について差動情報を得ることを可能にする静電容量センサを構成する。【解決手段】 第1電極(3)は第1基板体(1)に、第2電極(4)は第2基板体(2)に配列される。電極(3、4)の少なくとも1つは、局所分析の容量測定が可能になるような立体的な構造を示す。電極(3、4)の立体的な構造は、好ましくは複数の互いに平行に配列された、帯状素子(8)または多数の互いに離間して平面的に配列された素子(8)により形成される。電極(3、4)には、基板体(1、2)の中に集積された電子評価装置(6a、6b)が割当てられる。
請求項（抜粋）：
互いに離間して向き合い、かつ、測定容量を形成する第1および第2電極を備えた静電容量センサであって、第1電極が第1基板体に、かつ、第2電極が第2基板体に配設されている静電容量センサにおいて、少なくとも1つの電極(3、4)が局所分析測定をするために多数の互いに離間して平面的に配列された素子(8)を含み、かつ、立体的に構造化されて形成されること、を特徴とする静電容量センサ。
引用特許：
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