特許

J-GLOBAL ID：200903066521508996

位置合わせ装置

発明者： 黒田 幸輝
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン九州株式会社
代理人 (1件)： 金本 哲男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-204641
公開番号（公開出願番号）：特開平7-099229
出願日： 1994年08月05日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：

【要約】【目的】 ウエハを把持するウエハチャックと、洗浄処理槽内でウエハを保持するウエハ保持具との間でウエハを授受する際の授受位置の位置合わせを簡易、迅速かつ正確に行う。【構成】 ウエハチャック側の把持棒の把持溝P1と、ウエハ保持具41側の保持棒43の保持溝Q1とを、1の撮像装置55によって同時に撮像し、把持溝P1と保持溝Q1の各画像を同一モニタの画面における同一座標系に画像表示させるようにした。【効果】 位置ズレしている場合には各画像も同一画面上でズレて表示されているので、両画像が一致するようにウエハチャックを調整すれば、位置合わせが簡単にかつ正確に行える。

請求項（抜粋）：

把持装置における所定の把持位置に把持された状態の複数の被処理体を、保持具における所定の保持位置に授受する如く構成された搬送系における、前記授受の際の前記把持位置と前記保持位置との相対位置の位置合わせを行う装置であって、前記把持装置によって把持される適宜の治具に設けられ、前記把持位置と前記保持位置とを同時に撮像する撮像装置と、前記撮像装置によって撮像された前記把持位置と前記保持位置とを、同一画像表示部における同一座標系に重ねて画像表示する表示装置とを具備することを特徴とする、位置合わせ装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  G01B 11/00 ,  G05D 3/12 ,  G06T 7/00 ,  H01L 21/304 341