特許
J-GLOBAL ID：200903066521845011
処理液塗布装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-258148
公開番号（公開出願番号）：特開平6-112118
出願日： 1992年09月28日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】【目的】搬送方向と直交する方向の直線状の一定位置より被加工板面に現像液、又はエッチング液などの処理液を塗布することによって、後方に処理液が飛び散らないようにして、現像ムラ、エッチングムラを解消する。【構成】コンベア手段2上側に現像液又はエッチング液など処理液供給ノズル3と立設板4を設け、供給ノズル3より処理液dを立設板4の垂直面に向かって噴出させ、流下する処理液dを処理液受部5に一旦受けた後、スリット部6より流出する処理液dを、上板7下面から堰止板8に沿って流下させて該堰止板8下側を通過する被加工板1面に塗布することを特徴とする処理液塗布装置。
請求項（抜粋）：
平坦な板状の被加工板1を積載して搬送する搬送ロール等のコンベア手段2上側に現像液又はエッチング液など処理液供給ノズル3と、該供給ノズル3より搬送上流側の前記コンベア手段2上側に垂直立設板4を設け、該立設板4下端部とコンベア手段2との間に、所定の間隔をあけて処理液受部5を設け、該立設板4と、処理液受部5の搬送方向上流側端部との間にスリット状の開口部6を備え、該開口部6上側より水平に搬送方向上流側に横向きの上板7を設け、該上板7末端部に下向堰止板8を設け、前記供給ノズル3より処理液dを立設板4に向かって噴出させ、該立設板4を流下する処理液dを処理液受部5に一旦受けた後、開口部6より流出する処理液dを、上板7下面から堰止板8に沿って流下させて該堰止板8下側を通過する被加工板1面に塗布することを特徴とする処理液塗布装置。
IPC (6件)：
H01L 21/027
, B05C 5/00 103
, B05C 15/00
, G02F 1/1343
, G03F 7/16 501
, H01L 21/306
