慣性センサ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：草野卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-145814
公開番号（公開出願番号）：特開平11-337571
出願日： 1998年05月27日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：

【要約】【課題】熱応力がダイアフラムの外周に作用した場合の歪を軽減する。【解決手段】ダイアフラム1の薄肉部1cの外周辺の各々に連結区間10を除いてXまたはY軸に沿って第1スリット11が形成され、各連結区間の片側の第1スリット端より第2スリット12が切り込み形成され、これらの第1,第2スリットに挟まれて、X軸またはY軸に平行な微小な幅のアーム13が形成される。薄肉部1cはこれらのアームによって枠部1gに連結される。アーム13の幅Wは例えば連結区間10の幅にほぼ等しく設定する。アーム13の端部はL字状またはコ字状に折り曲げるのが望ましい。

請求項（抜粋）：

直交3軸をX,Y及びZ軸とするとき、X軸に平行な対向する2辺とY軸に平行な対向する2辺を有する方形状の半導体基板の上面に、X軸またはY軸に平行な4つの溝を連結したロ字形溝が形成され、そのロ字形溝の底面側、内側及び外側にそれそれロ字形薄肉部、島状部及び枠部が形成されて成るダイアフラムと、絶縁基板の内面に、前記ダイアフラムの枠部と対向して枠部が形成され、その枠部に囲まれて方形状の溝が形成され、該枠部がダイアフラムの枠部の底面に固定されるベース基板と、を少なくとも備え、前記3軸方向の加速度または角速度を検出する慣性センサにおいて、前記ロ字形薄肉部の4つの外周辺の各々に、微小な連結区間を除いてX軸またはY軸に沿って第1スリットがそれぞれ形成され、前記各連結区間の片側の第1スリット端より第2スリットがそれぞれ切り込み形成され、これら第1,第2スリットに挟まれて、X軸またはY軸に平行な微小幅のアームが、薄肉部の4つの外周部にそれぞれ形成され、これらのアームによって肉薄部が枠部に連結されていることを特徴とする慣性センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/125 , G01P 9/04 , G01P 15/12

FI (3件)：

G01P 15/125 , G01P 9/04 , G01P 15/12

前のページに戻る