特許

J-GLOBAL ID：200903066538628740

処理装置

発明者： 小美野 光明 ,  風間 晃一
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-026227
公開番号（公開出願番号）：特開平6-216077
出願日： 1993年01月20日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：

【要約】【目的】 下部電極を構成する各構成部材間の境界に形成される複数の細隙を利用して液体窒素等の冷媒の消費量を抑制してランニングコストを低減することができる処理装置を提供する。【構成】 本処理装置は、サセプタ21と冷却ブロック22間に介在する各構成部材の境界細隙δ1、δ2の各周縁部にシール部材27A、27Bを設けると共に両シール部材27A、27Bで囲まれた境界細隙δ1、δ2から下部電極2の外部へ通じる流通路28Aを延設し、且つ各流通路28Aを介して各境界細隙δ1、δ2にHeガスを供給する気体供給源29A及び各境界細隙δ1、δ2を排気する真空排気ポンプ30Aをそれぞれ設けると共に、気体供給源29A及び真空排気ポンプ30Aを各境界細隙δ1、δ2に連通するように切り替える三方切替弁31Aを各流通路28Aの連結部に設けたものである。

請求項（抜粋）：

被処理体を保持する保持体及びこの保持体を冷却する冷却機構を有する電極で被処理体を保持し、この被処理体を上記冷却機構により冷却して所定の処理を行なう処理装置において、上記冷却機構と上記保持体間に介在する各構成部材の境界細隙の各周縁部にそれぞれシール部材を設けると共にこれらのシール部材で囲まれた上記境界細隙から上記電極の外部へ通じる流通路を延設し、且つ上記各流通路を介して上記各境界細隙に熱伝導性に優れた気体を供給する気体供給源及び上記各流通路を介して上記各境界細隙を排気する排気手段をそれぞれ設けると共に、上記気体供給源及び排気手段を上記各境界細隙に連通するように切り替える切替手段を上記流通路に設けたことを特徴とする処理装置。

IPC (5件)：

H01L 21/302 ,  C23C 14/34 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/203

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-196528
  
• 特開平4-078134
  
• 特開昭63-229716
  
• 特開平4-150937