特許
J-GLOBAL ID：200903066569969847
走査型レーザ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-042149
公開番号（公開出願番号）：特開平11-237555
出願日： 1998年02月24日
公開日（公表日）： 1999年08月31日
要約：
【要約】【課題】レーザ光の照射による試料のダメージが極力小さくなり、かつ操作性にすぐれており、かつ安価となる走査型レーザ顕微鏡を得る。【解決手段】レーザ光源から発したレーザ光ビーム50を試料62上に集光する対物レンズ53と、前記光源と対物レンズ53の間に配置されていて53に入る光の入射角度を変化させることにより、試料62上をそれぞれ直交する方向に走査する光偏向部材52,59と、試料62からの光を検出して画像信号を出力する検出器70と、検出器70から出力された画像信号を表示するモニタと、調整可能な開口を持つ走査範囲絞りが光学系の中間結像面1に位置調整可能に配置され、前記絞りの開口でレーザの走査範囲を制限することを可能とした走査範囲絞り2とを具備した走査型レーザ顕微鏡。
請求項（抜粋）：
レーザ光源と、前記レーザ光源からのレーザ光を試料上に集光する対物レンズと、前記レーザ光源と前記対物レンズの間に配置されていて前記対物レンズに入る光の入射角度を変化させることにより前記試料上を走査する光偏向部材を有した光学系と、前記試料からの光を検出して画像信号を出力する検出器と、前記検出器から出力された画像信号を表示する表示手段と、前記光学系の中間結像位置に配置され、前記レーザ光の走査範囲を制限することを可能とした開口を有する走査範囲規制手段と、を具備したことを特徴する走査型レーザ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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