特許

J-GLOBAL ID：200903066576881289

除振装置

発明者： 渡辺 和英 ,  金光 陽一 ,  芳我 尚秀 ,  鈴木 衛
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-353956
公開番号（公開出願番号）：特開平9-177879
出願日： 1995年12月27日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】 空気ばねを備えた除振装置において、水平方向の位置決めをアクチュエータを用いることなく簡単に行え、空気ばねで支持された除振テーブルが設置床側のアクチュエータに接触することを防止できると共に、良好な水平方向の除振制御を行うことができる除振装置を提供する。【解決手段】 搭載物を載せた除振台床板を懸架して、除振台設置床からの振動を除振する空気ばね11と、更に振動を能動的に除振制御する電磁石と、除振台床板上の加速度を検出する加速度センサ13と、除振台床板と設置床との相対変位を検出する変位センサ5と、電磁石のコントローラ7とを備えた除振装置において、空気ばね11で搭載物の重量の大部分を支持すると共に、水平方向にコイルバネ16を用いて位置決めし、更に水平方向の微振動を加速度センサの信号をコントローラ7を通して電磁石にフィードバックし、能動的に除振する。

請求項（抜粋）：

搭載物を載せた除振台床板を懸架して、除振台設置床からの振動を除振する空気ばねと、更に振動を能動的に除振制御する電磁石と、除振台床板上の加速度を検出する加速度センサと、除振台床板と設置床との相対変位を検出する変位センサと、電磁石のコントローラとを備えた除振装置において、空気ばねで搭載物の重量の大部分を支持すると共に、水平方向にコイルバネを用いて位置決めし、更に水平方向の微振動を前記加速度センサの信号を前記コントローラを通して電磁石にフィードバックし、能動的に除振することを特徴とした除振装置。

IPC (3件)：

F16F 15/03 ,  F16F 15/02 ,  H01L 21/02

FI (3件)：

F16F 15/03 E ,  F16F 15/02 A ,  H01L 21/02 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 能動防振装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-332970   出願人：住友電気工業株式会社
• 特開平3-129140
  
• 除振装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-025198   出願人：鹿島建設株式会社, 株式会社荏原製作所
• 特開平3-129140