特許
J-GLOBAL ID:200903066578253129
切削工具及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
青木 篤
, 石田 敬
, 古賀 哲次
, 西山 雅也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-106655
公開番号(公開出願番号):特開2004-308008
出願日: 2004年03月31日
公開日(公表日): 2004年11月04日
要約:
【課題】 本発明は、625〜800°Cの温度で化学蒸着によって切削工具インサート上に結晶質α-Al2O3層を堆積する方法に関する。【解決手段】 本発明の方法は、X+Y+Z≧1及びZ>0好ましくはZ0.2であり、0.1〜1.5μmのTiCXNYOZの層を堆積する工程、0.5〜3vol%のO2好ましくはCO2とH2またはO2とH2を含有するガス混合物中で任意に0.5〜6vol%のHClの存在する中において約0.5〜4分の短い時間625〜1000°Cで前記層を処理する工程、及び40〜300ミリバールの処理圧力と625〜800°Cの温度で、処置した前記層を、H2中に2〜10vol%のAlCl3と16〜40vol%のCO2とを含有するガス混合物と、0.8〜2vol%の硫黄含有剤好ましくはH2Sとに、接触させることによって前記Al2O3層を堆積させる工程を含む。本発明は、本発明のα-Al2O3層の少なくとも1層の被膜を有する切削工具インサートも含む。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
化学蒸着によって切削工具インサート上に結晶質α-Al2O3層を堆積させる方法であって、
X+Y+Z≧1及びZ>0好ましくはZ>0.2であり、0.1〜1.5μmのTiCXNYOZの層を堆積させる工程、
0.5〜3vol%のO2好ましくはCO2+H2またはO2+H2を含有するガス混合物中、約0.5〜4分の短い時間、任意に0.5〜6vol%のHClの存在下で625〜1000°Cで前記層を処理する工程、及び
40〜300ミリバールの処理圧力及び625〜800°C好ましくは625〜700°C最も好ましくは625〜800°Cの温度で、前記処理した前記層を、H2中に2〜10vol%のAlCl3及び16〜40vol%のCO2を含有させたガス混合物と、0.8〜2vol%の硫黄含有剤好ましくはH2Sとに、接触させることによって、前記Al2O3層を堆積させる工程、
を含むことを特徴とする結晶質α-Al2O3層を堆積する方法。
IPC (5件):
C23C16/40
, B23B27/14
, B23B51/00
, B23C5/16
, B23P15/28
FI (5件):
C23C16/40
, B23B27/14 A
, B23B51/00 J
, B23C5/16
, B23P15/28 A
Fターム (32件):
3C037AA02
, 3C037CC02
, 3C037CC04
, 3C037CC09
, 3C037CC10
, 3C037CC11
, 3C046FF02
, 3C046FF03
, 3C046FF04
, 3C046FF05
, 3C046FF10
, 3C046FF13
, 3C046FF19
, 3C046FF22
, 4K030AA03
, 4K030AA14
, 4K030AA17
, 4K030AA24
, 4K030BA18
, 4K030BA35
, 4K030BA41
, 4K030BA43
, 4K030BB01
, 4K030BB12
, 4K030CA03
, 4K030CA05
, 4K030DA02
, 4K030HA02
, 4K030JA01
, 4K030JA09
, 4K030JA10
, 4K030LA22
引用特許:
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