特許

J-GLOBAL ID：200903066585171731

金属酸化物薄膜の製造方法

発明者： 国武 豊喜 ,  一ノ瀬 泉 ,  千手 博之
出願人/特許権者： 株式会社トクヤマ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-051604
公開番号（公開出願番号）：特開平9-241008
出願日： 1996年03月08日
公開日（公表日）： 1997年09月16日
要約：

【要約】【課題】極めて薄い金属酸化物薄膜を、厚み精度良く、且つ確実に形成し得る金属酸化物薄膜の製造方法を提供する。【解決手段】水酸基を有する固体表面に、該固体の水酸基と縮合反応し且つ加水分解により水酸基を生成し得る基を有する金属化合物、例えば、金属アルコキシド類等を接触させることにより該金属化合物を化学吸着させ、次いで、過剰の金属化合物を洗浄等の手段により除去した後、上記固体表面に存在する金属化合物を加水分解する。

請求項（抜粋）：

水酸基を有する固体表面に、該固体の水酸基と縮合反応し且つ加水分解により水酸基を生成し得る基を有する金属化合物を接触させることにより該金属化合物を化学吸着させ、次いで、過剰の金属化合物を除去した後、上記固体表面に存在する金属化合物を加水分解することを特徴とする金属酸化物薄膜の製造方法。

IPC (6件)：

C01B 13/32 ,  B01J 19/00 ,  C23C 30/00 ,  H01L 31/04 ,  H01L 41/09 ,  H01L 21/316

FI (6件)：

C01B 13/32 ,  B01J 19/00 K ,  C23C 30/00 C ,  H01L 21/316 G ,  H01L 31/04 T ,  H01L 41/08 U

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開平1-212203
  
• 特開平1-179423
  

審査官引用 (3件)

• 特開平1-212203
  
• 特開平1-212203
  
• 特開平1-212203