特許
J-GLOBAL ID:200903066585459743

色選別電極構造体の黒色酸化膜形成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大岩 増雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-174269
公開番号(公開出願番号):特開2001-351515
出願日: 2000年06月09日
公開日(公表日): 2001年12月21日
要約:
【要約】【課題】 スリット延長方向の張力が掛けられている色選別電極構造体の張力の劣化を防止した黒色酸化膜形成方法を得る。【解決手段】 アパーチャーグリルーを用いた色選別電極構造体を、所定の組成の発熱型変成ガスに8〜12容積%の混合割合で空気を混合した混合ガスの雰囲気中で、400°Cまで加熱する加熱工程、発熱型変成ガスのみの雰囲気中で、400°Cの色選別電極構造体を460°Cまで加熱した後、460°Cに約15分保持する温度保持工程、及び460°Cの色選別電極構造体を、発熱型変成ガスに5〜15容積%の混合割合で空気を混合した混合ガスの雰囲気中で、200°Cまで冷却する冷却工程を含むものである。
請求項(抜粋):
一対の第1のフレーム、この第1のフレームの間に差し渡された一対の第2のフレーム、及びほぼ全面に微小幅のスリットが多数並列配置された金属薄板からなる色選別電極を備え、上記色選別電極のスリット延長方向両縁部が上記第1のフレームに固定され、上記第2のフレームにより上記色選別電極にスリット延長方向の張力が掛けられている色選別電極構造体を、所定の組成の発熱型変成ガスに第1の混合割合で空気を混合した混合ガスの雰囲気中で、第1の温度まで加熱する加熱工程、上記発熱型変成ガスのみの雰囲気中で、上記第1の温度の上記色選別電極構造体を第2の温度まで加熱した後、第2の温度に所定時間保持する温度保持工程、上記第2の温度の上記色選別電極構造体を、発熱型変成ガスに第2の混合割合で空気を混合した混合ガスの雰囲気中で、第3の温度まで冷却する冷却工程を含むことを特徴とする色選別電極構造体の黒色酸化膜形成方法。
IPC (2件):
H01J 9/14 ,  C23C 8/18
FI (2件):
H01J 9/14 G ,  C23C 8/18
Fターム (1件):
5C027HH26

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