特許
J-GLOBAL ID：200903066587048112
プラズマ処理装置のガスインレット部材
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
波多野 久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-151214
公開番号（公開出願番号）：特開2002-343788
出願日： 2001年05月21日
公開日（公表日）： 2002年11月29日
要約：
【要約】【課題】プラズマCVD装置などのプラズマ処理装置において、プラズマの励起時、ガス流入部(上部電極側)に向って逆放電が生じるのを防止できるプラズマ処理装置のガスインレット部材を提供する。【解決手段】耐熱性中空体2と、この耐熱性中空体2に設けられた通気用の中空部3と、この中空部3に収納された耐熱性多孔質体4とを有するプラズマ処理装置のガスインレット部材である。
請求項（抜粋）：
耐熱性中空体と、この耐熱性中空体に設けられた通気用の中空部と、この中空部に収納された耐熱性多孔質体とを有することを特徴とするプラズマ処理装置のガスインレット部材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/31 C
, C23C 16/455
4K030BA44
, 4K030CA04
, 4K030CA12
, 4K030EA05
, 4K030KA46
, 4K030LA15
, 5F045AA08
, 5F045BB02
, 5F045DP03
, 5F045EB03
, 5F045EF05
, 5F045EF11
, 5F045EH14
