特許
J-GLOBAL ID：200903066594801195
ライフタイムの測定方法及びそれを用いたライフタイム測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-043097
公開番号（公開出願番号）：特開平6-275692
出願日： 1993年03月04日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】 小型で、レーザの侵入深さを浅く設定できるライフタム測定装置を提供する。【構成】 ウェハ1に対して斜め(非垂直)方向からレーザ光lを出すレーザ出射部2を設け、キャリヤの状態をマイクロ波導波管3を用いて検出する。このように、レーザ光を非垂直に入射させることにより、ウェハ1の浅い部分を励起することが可能となり、浅い部分の情報を得ることが可能となる。
請求項（抜粋）：
レーザ光を被測定基板に入射させて該被測定基板中の過剰少数キャリヤのライフタイムを測定する方法において、上記レーザ光を被測定基板に対して非垂直に入射させることを特徴とするライフタイムの測定方法。
IPC (2件)：
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