特許
J-GLOBAL ID：200903066596258855
陽極酸化膜の形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-252846
公開番号（公開出願番号）：特開平5-067784
出願日： 1991年09月05日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：
【要約】【目的】表面に荒れがなく、絶縁膜としての特性に優れた陽極酸化膜を得る。【構成】金属膜10のパターニングを行なった後、この金属膜10の表面をライトエッチング処理し、この後金属膜10を陽極酸化する。
請求項（抜粋）：
所定形状にパターニングした金属膜を陽極酸化して陽極酸化膜を形成する方法において、前記金属膜のパターニングを行なった後、この金属膜の表面をライトエッチング処理し、この後前記金属膜を陽極酸化することを特徴とする陽極酸化膜の形成方法。
IPC (4件)：
H01L 29/784
, C25D 11/02
, H01L 21/316
, H01L 27/12
