特許
J-GLOBAL ID：200903066607317140
光ディスク検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
板谷 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-129577
公開番号（公開出願番号）：特開平5-296939
出願日： 1992年04月21日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：
【要約】【目的】 光ディスクにおける反りやうねりなどの緩やかな、もしくは、微弱な不均質性に拘らず、光ディスクの欠陥を正確に検出することができる光ディスク検査装置を提供する。【構成】 被検光ディスク1に光源4から検査用光5が照射されると、光ディスク1による反射光、散乱光、干渉光のうち少なくとも1つの光の強度が、2以上の方向から光センサ6a,6bにより検知される。この検知信号は演算器7にて演算され、記憶回路8に信号パターンとして記憶される。これと、基準パターン発生器9より発生される基準となる品質を有する基準光ディスクについての信号パターンとが判断回路10にて比較され、被検光ディスク1の欠陥の有無及び種類が分別される。
請求項（抜粋）：
被検光ディスクに検査用光を照射する光源と、その検査用光の該光ディスクによる反射光、散乱光、干渉光のうち少なくとも1つの光の強度を検知する光センサとを有し、この光センサからの出力信号に基づいて該光ディスクの欠陥を検知する光ディスク検査装置において、前記光センサは前記反射光、散乱光、干渉光のうち少なくとも1つの光の強度を2以上の方向から検知する構成とし、この光センサからの出力信号を演算する演算手段と、この演算手段による演算の結果を演算信号として記憶する記憶手段と、品質基準となる光ディスクに前記検査用光が照射された時に前記光センサから出力される信号のパターンを発生する基準パターン発生手段と、この基準パターン発生手段から発生された信号パターンと前記記憶手段に記憶された前記演算信号のパターンとを比較して前記被検光ディスクの品質の良否を判断する判断手段とを備えたことを特徴とする光ディスク検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G11B 7/26
