特許
J-GLOBAL ID：200903066607393830
レーザ光を利用したスペックルパターンによる被計測物の移動量の修正方法ならびにその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 直義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-277438
公開番号（公開出願番号）：特開平8-014824
出願日： 1993年10月08日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：
【要約】[目的]レーザ.スペックルパターンを利用した被計測物の移動量を非接触で測定する装置にあって、被測定物に照射するレーザ光を正規律に分割した定位置印記影を遮光体により投影できるようにし、被計測物のレーザ被照射域において非平滑面による歪反射を光学的に認識したものを実質の数値となるように自動修正し、これを出力表示することを目的とするものである。[構成] 設定距離、設定形状よりなる定位置ポイントを線または点あるいはこれらの複合態によりなる遮光体9を被計測1物にスペックルパターン3を描かせるレーザ発振器4の前方の光軸を遮光する位置に装設し、前記遮光体9によって形成される定位置印記影10を含むスペックルパターン3を標識として捕らえるCCDカメラ5と、該CCDカメラ5からの信号をA/D変換器6を介して接続する演算装置7に、前記遮光体9に形成した定位置ポイントの設定値に基づく指示値の認識画素と、歪露光の認識画素との相対差量とを識別処理し、かつ、算出する演算手段を格納し、演算して得た数値情報を出力表示するCRT8に接続してなるものである。
請求項（抜粋）：
レーザ.スペックルパターンを利用した被計測物の移動量の測定方法において、設定距離、設定形状よりなる定位置ポイントを線または点あるいはこれらの複合態により規格化した定位置印記影を遮光によって形成できる遮光体を照射レーザ光軸中に挿入し、該遮光体によって被計測物に投影される透光光束における被照射域の映像範囲に描かれた非露光部である定位置印記影を含むスペックルパターンを標識として、これを光学的に認識し、かつ、該認識画素において定位置印記影の歪形態を、設定形態との相対差量を演算処理により識別、かつ、出力表示することができるようにしてなることを特徴とするレーザ光を利用したスペックルパターンによる被計測物の移動量の測定値の修正方法。
IPC (2件)：
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