特許

J-GLOBAL ID：200903066612790945

ポジ型感光性樹脂組成物及びこれを用いた積層体

発明者： 赤堀 聡彦 ,  立木 繁雄 ,  広 昌彦
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-314527
公開番号（公開出願番号）：特開平5-150454
出願日： 1991年11月28日
公開日（公表日）： 1993年06月18日
要約：

【要約】【目的】 光感度、安定性、現像裕度などの性能に優れ、高解像度のレジストパターンを形成しうるポジ型感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性積層体を提供すること。【構成】 分子内に酸分解性基であるカルボン酸エステル構造を有する化合物及び活性光線の照射により酸を生成する化合物を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物において、活性光線の照射により酸を生成する化合物が下記の一般式(I)で示される化合物であるポジ型感光性樹脂組成物及び該ポジ型感光性樹脂組成物の層を基材上に積層してなる積層体である。なお、式中、R1 及びR2 はアルキル基を表し、R3 は水素又はアルキル基などの置換基を表す。【化1】

請求項（抜粋）：

分子内に酸分解性基であるカルボン酸エステル構造を有する化合物及び活性光線の照射により酸を生成する化合物を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物において、活性光線の照射により酸を生成する化合物が一般式(I)【化1】〔式中、R1 及びR2 はアルキル基を表し、R3 は水素、アルキル基、水酸基、ニトロ基又はアルコキシ基を表す〕で示される化合物であるポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/039 501 ,  C09D 5/44 PRS ,  C23F 1/00 102 ,  C25D 13/00 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027