特許

J-GLOBAL ID：200903066626202876

U字溝形状を有する部品表面の検査方法

発明者： 八木原 潔 ,  染次 孝博 ,  落合 正典 ,  三家本 司
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
代理人 (1件)： 大場 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-293017
公開番号（公開出願番号）：特開平10-132537
出願日： 1996年11月05日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】 表面の凹凸を画像処理を用いて検査する。【解決手段】 照明光を検査対象面に対し、水平又は低角度で照射し、凹凸部で乱反射した光を撮像し、画像処理により凹凸部を検出する。

請求項（抜粋）：

画像処理を用いたU字溝形状部の表面の検査において、照明光をU字溝長手方向に対し30度以下の低角度で入射し、U字溝表面の凹凸部で乱反射した光を撮像し、撮像カメラにて画像を取り込み、画像処理により凹凸部を検出することを特徴とする表面検査方法。

IPC (3件)：

G01B 11/30 ,  G01B 21/20 102 ,  G01N 21/88

FI (3件)：

G01B 11/30 Z ,  G01B 21/20 102 Z ,  G01N 21/88 Z