特許

J-GLOBAL ID：200903066628026218

洗浄装置及びその方法

発明者： 黒田 健 ,  菅野 至
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社 ,  菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-005711
公開番号（公開出願番号）：特開平9-199467
出願日： 1996年01月17日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】 洗浄液の洗浄性が失われることを抑制する洗浄装置及びその方法を得る。【解決手段】 循環ポンプ5はヒーター6,フィルター7,オーバーフロー洗浄槽2の順に洗浄液3を循環させる。洗浄液3は徐々に蒸発する。一方、水供給器10はチューブ8を介してオーバーフロー洗浄槽2に水を供給する。アミン類供給器11はチューブ9を介してオーバーフロー洗浄槽2にアミン類を供給する。制御装置12は供給する水,アミン類の量を調節する。従って、洗浄部50の水,アミン類の量は動作開始から時間が経過しても、水,アミン類の量は減少することが抑制され、洗浄液3の洗浄性が失われることが抑制される。

請求項（抜粋）：

洗浄液を用いてウエハを洗浄する洗浄部と、前記洗浄液の使用時間と前記洗浄液の量との関係を示す特性曲線に基づいて、前記使用時間の経過に伴って減少した量の前記洗浄液を前記洗浄部に供給する供給部と、を備えた洗浄装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 薬液処理装置及び薬液処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-142638   出願人：ソニー株式会社
• 有機剥離液の成分濃度測定方法およびその測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-053497   出願人：倉敷紡績株式会社
• 特開平2-159029
  
• 特開平4-159713