特許
J-GLOBAL ID：200903066629450250
電子線照射装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-024876
公開番号（公開出願番号）：特開平5-223998
出願日： 1992年02月12日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 電子線照射装置における電子ビーム利用効率を向上する。【構成】 アノードのスリットを規則的に形成する橋架部の断面を三角形や台形として、電子衝突面に重元素をコーティングし、しかも被照射物の走行方向に沿ってスリット換言すれば橋架部を傾斜させたものである。
請求項（抜粋）：
カソードからの帯状長尺電子ビームを、開口部を規則的に有するアノードを介しついで箔を介して外部に取り出す電子線照射装置において、上記開口部を形成するアノードの橋架部の断面形状を箔側を底辺としカソード側を頂点とする三角形や台形に形成し、しかも上記橋架部の電子ビームが衝突する部分には電子ビーム反射率が高く融点の高い重元素をコーティングした、ことを特徴とする電子線照射装置。
IPC (4件)：
G21K 5/00
, B01J 19/12
, H01J 37/06
, H01J 37/30
