特許
J-GLOBAL ID：200903066635951776
光学系
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-309231
公開番号（公開出願番号）：特開平9-146002
出願日： 1995年11月28日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】 正確な測定を行うことが可能で、光学面の外形と面形状の中心とが一致しない回転非対称な光学面を有する光学系。【解決手段】 回転非対称な面形状を有し、光軸に対して傾いて配置され、かつ、外形で決まる面の中心と面形状の中心とが一致しない光学面67を少なくとも1面有する光学系において、回転非対称な光学面67の少なくとも1面に、面形状の基準位置を示す1個から3個の指標61が設けることにより、測定データを設計値にフィッティングする際の設計値に対する測定データの位置、傾きの自由度が半分以下に減少し、被測定物のずれ、傾きを正確に求めることが可能になり、精度の良い面精度の測定が可能になる。
請求項（抜粋）：
回転非対称な面形状を有し、光軸に対して傾いて配置され、かつ、外形で決まる面の中心と面形状の中心とが一致しない光学面を少なくとも1面有する光学系において、前記回転非対称な光学面の少なくとも1面に、面形状の基準位置を示す少なくとも1つの指標が設けられていることを特徴とする光学系。
IPC (4件)：
G02B 17/08
, G02B 3/02
, G02B 5/04
, G02B 25/00
G02B 17/08 Z
, G02B 3/02
, G02B 5/04
, G02B 25/00 Z
