特許
J-GLOBAL ID：200903066637557463
ガラス基板およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大野 精市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-246097
公開番号（公開出願番号）：特開平5-085777
出願日： 1991年09月25日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：
【要約】【目的】 高いアルカリ金属の拡散阻止効果を有し、製造コストが安価なガラス基板およびその製造方法を提供する。【構成】 ガラス基板1の上方から窒素と珪素をイオン注入し、窒化珪素層2を形成する。次にリンと酸素のイオン注入により窒化珪素層より浅い領域にリン珪酸ガラス層3を形成する。
請求項（抜粋）：
アルカリ金属を含んだ珪酸塩ガラスからなるガラス基板の内部でその表面近くに、窒化珪素層を形成し、該窒化珪素層より基板表面側にリン珪酸ガラス層を形成したことを特徴とするガラス基板。
IPC (4件)：
C03C 17/34
, C03C 21/00
, C23C 14/06
, H01L 23/15
