特許
J-GLOBAL ID：200903066642381942
弾性表面波共振子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-083701
公開番号（公開出願番号）：特開平7-273582
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：
【要約】【目的】弾性表面波共振子の製造コストを低減し、かつ、共振周波数の調整精度を高める。【構成】電極パターンエッチング工程4のエッチング条件を一定にしてエッチング時間を測定する。そのエッチング時間から得られる電極膜厚と、予め実験的に求めた膜厚と共振周波数の相関関係から、目標とする共振周波数との差を求め、その差から周波数調整のエッチング時間を求めてエッチングを行うようにした。【効果】電極形成後の周波数測定,プローブ検査工程6を省略することができ、かつ、周波数調整精度が向上する。
請求項（抜粋）：
洗浄後のウエハ状圧電基板に目標厚さの膜厚より厚い金属膜を形成し、レジストパターンを転写した後、電極パターンエッチング工程で多数の弾性表面波共振子のすだれ状電極を形成し、レジストを剥離するレジスト剥離工程後、第1のプローブ検査工程で圧電基板に作り込まれた多数の弾性表面波共振子の共振周波数を測定し、次の周波数調整工程で前記共振周波数の測定値が所定の共振周波数になるまで前記すだれ状電極の金属膜をエッチングし、次の第2のプローブ検査工程で共振周波数の最終検査を行う弾性表面波共振子の製造方法において、前記電極パターンエッチング工程において、エッチングレートを一定の値に固定してエッチング時間を測定し、予め実験的に求めたエッチング時間に対する電極膜厚の相関特性と電極膜厚に対する共振周波数の相関特性とを参照することにより、前記測定エッチング時間から求まる共振周波数と前記所定の共振周波数との差から該所定の共振周波数に調整するための調整エッチング時間を算出し、前記レジスト剥離工程後、前記周波数調整工程に進めて前記調整エッチング時間のエッチング調整を行うようにしたことを特徴とする弾性表面波共振子の製造方法。
IPC (2件)：
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