特許

J-GLOBAL ID：200903066645956172

反射電子顕微鏡用試料ホルダ

発明者： 大島 義文 ,  山崎 一寿
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-174009
公開番号（公開出願番号）：特開平8-036984
出願日： 1994年07月26日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 試料ホルダを電子顕微鏡に装填したまま,任意の電子線入射方向から試料を観察でき,且つ試料の加熱を行えるようにする。【構成】 ホルダ本体1及び該ホルダ本体に内包される試料固定装置2とからなり,該ホルダ本体は中空の円筒形で一端が封止され他端は開放され,封止端には該円筒の中心軸の回りを回転できる回転軸1Aを有し,該円筒の中心軸に垂直に中空柱状の部材が該円筒を貫通し,該部材と該円筒との交線は溶接されて密封された構造であり,該試料固定装置は試料7を加熱用パネル5を介して保持し,該中空柱状の部材の中側に挿入され,該試料固定装置に設けられ且つ該試料面に垂直な軸の回りに回転できる軸4が該ホルダ本体側に設けられた軸受1Cに挿入され,加熱用パネルは該ホルダ本体側に設けられた端子に接続されて通電されるように構成する。

請求項（抜粋）：

ホルダ本体及び該ホルダ本体に内包される試料固定装置とからなり,該ホルダ本体は中空の円筒形で一端が封止され他端は開放され, 封止端には該円筒の中心軸の回りを回転できる回転軸を有し, 該円筒の中心軸に垂直に中空柱状の部材が該円筒を貫通し,該部材と該円筒との交線は溶接されて密封された構造であり,該試料固定装置は試料を加熱用パネルを介して保持し,該中空柱状の部材の中側に挿入され,該試料固定装置に設けられ且つ該試料面に垂直な軸の回りに回転できる軸が該ホルダ本体側に設けられた軸受に挿入され,加熱用パネルは該ホルダ本体側に設けられた端子に接続されて通電されるように構成されていることを特徴とする反射電子顕微鏡用試料ホルダ。

IPC (2件)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/29