感放射線性樹脂組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福沢俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-229442
公開番号（公開出願番号）：特開平6-059444
出願日： 1992年08月06日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：

【要約】【目的】高い解像度と高い感度を有し、且つ良好なレジストパターンを形成できるとともに、エッチング液に侵されない高い耐酸性と基板に対する高い接着性とを具備した、ネガ型ホトレジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 (A)ノボラック樹脂、(B)前記(A)成分を架橋しうる化合物、(C)感放射線性酸発生剤、並びに(D)?@エポキシ樹脂および?Aシランカップリング剤の少なくとも1種を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A)ノボラック樹脂、(B)前記(A)成分を架橋しうる化合物、(C)感放射線性酸発生剤、並びに(D)?@エポキシ樹脂および?Aシランカップリング剤の少なくとも1種を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/004 503 , G03F 7/028 , G03F 7/032 501 , G03F 7/038 505 , G03F 7/075 501 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平4-134347
特開平4-163552
特開平4-162040

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