特許
J-GLOBAL ID：200903066648694870
ウエハ搬送装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 敬四郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-275850
公開番号（公開出願番号）：特開平11-106043
出願日： 1997年10月08日
公開日（公表日）： 1999年04月20日
要約：
【要約】【課題】カセット内のウエハ位置を光センサを用いて検出している場合には、平均寿命以外の要因で光センサの動作保証期間以内に光量低下が生じウエハの位置検出ができなくなることがある。【解決手段】センサ機構の上昇経路途中、かつセンサによるウエハ検出前の位置に、光センサの光軸を遮断する減光フィルタを設け、減光フィルタを通過する光センサの光量に基づき光センサの消耗(劣化)度合を判断する。消耗(劣化)度合に応じて交換時期を判断する。
請求項（抜粋）：
ウエハを収納する収納容器を上部に載置する載置台と、該収納容器からウエハを搬出入するロボットハンドと、該収納容器内のウエハを検出するための光センサを有するセンサ機構と、載置台の下方から収納容器の上面までセンサ機構を上下動する駆動機構とを有し、センサ機構の上下動により光センサが上下動し収納容器内のウエハ位置を検出するウエハ検出手段とを有しているウエハ搬送装置において、該センサ機構の上昇途中ウエハ検出前の位置に、該光センサの光軸を遮断する箇所に設けた減光フィルタと、該減光フィルタを通過した光の光センサ出力に基づき光センサの消耗(劣化)度合を判断し、消耗(劣化)度合に応じて交換時期を判断する機能を有する制御手段とを設けたことを特徴とするウエハ搬送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B65G 49/07 C
, H01L 21/68 A
