特許

J-GLOBAL ID：200903066653028225

レジスト組成物

発明者： 松野 修吾 ,  阿部 信紀 ,  和田 泰昌
出願人/特許権者： 日本ゼオン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-187833
公開番号（公開出願番号）：特開平8-029985
出願日： 1994年07月18日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：

【要約】【目的】 新規な感放射線性レジスト組成物を提供する。【構成】 樹脂結合剤と酸発生剤とを含有する放射線感応性組成物であって、樹脂結合剤が樹脂中の少なくとも一部のヒドロキシル基の水素原子が次式(1)-COCOOR1または(2)-C(R2)(R3)COCOOR1(式(1)および(2)中、共通してR1は炭素数1〜10のアルキル基、アルケニル基、1-アルコキシアルキル基、置換可シクロアルキル基、置換可2-プロペニル基、置換可シクロアルケニル基、置換可シクロアルカジエニル基、置換可ビニル基、トリアルコキシメチル基であり、R2およびR3は同一または互いに異なってもよく、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜5のアルキル基、シアノ基である。)で表される少なくともひとつの基によって置換されているフェノール系樹脂であることを特徴とするレジスト組成物。

請求項（抜粋）：

樹脂結合剤と酸発生剤とを含有する放射線感応性組成物であって、樹脂結合剤が樹脂中の少なくとも一部のヒドロキシル基の水素原子が次式(1)-COCOOR1または(2)-C(R2)(R3)COCOOR1(式(1)および(2)中、共通してR1は炭素数1〜10のアルキル基、アルケニル基、1-アルコキシアルキル基、置換可シクロアルキル基、置換可2-プロペニル基、置換可シクロアルケニル基、置換可シクロアルカジエニル基、置換可ビニル基、トリアルコキシメチル基であり、R2およびR3は同一または互いに異なってもよく、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜5のアルキル基、シアノ基である。)で表される少なくともひとつの基によって置換されているフェノール系樹脂であることを特徴とするレジスト組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/023 511 ,  H01L 21/027