特許
J-GLOBAL ID：200903066654841698
セラミック加熱装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-181931
公開番号（公開出願番号）：特開平10-025165
出願日： 1996年07月11日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：
【要約】【課題】マイクロ波による加熱装置のマイクロ波導入窓として用いられているアルミナ、ベリリア、サファイア等はリアクター内を高圧化すると破損する等の問題があった。【解決手段】リアクター1内部に収納されたセラミック成形体12にマイクロ波発生装置6からマイクロ波導波管5および導入窓4を介してマイクロ波を照射して圧力1.5気圧以上の雰囲気中で加熱するためのセラミック加熱装置であって、マイクロ波を導入する導入窓4を測定周波数10GHzにおける誘電損失が5×10-4以下、耐熱衝撃臨界温度が500°C以上の窒化ケイ素質焼結体により構成することにより、高圧下でのマイクロ波加熱時において導入窓4の破損やクラックの発生を防止する。
請求項（抜粋）：
内部に収納されたセラミック成形体にマイクロ波を照射して圧力1.5気圧以上の雰囲気中で加熱するためのセラミック加熱装置であって、前記マイクロ波を導入する導入窓が、測定周波数10GHzにおける誘電損失が5×10-4以下、耐熱衝撃臨界温度が500°C以上の窒化ケイ素質焼結体からなることを特徴とするセラミック加熱装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C04B 35/64 F
, F27D 11/06
