インクジェットヘッド及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-039581
公開番号（公開出願番号）：特開平10-235858
出願日： 1997年02月24日
公開日（公表日）： 1998年09月08日
要約：

【要約】【課題】スパッタ法、あるいは真空蒸着法により、ノズル面を形成するノズル部材上に金を成膜すると、微量ながらノズル部材のノズル面の裏面にも金が付着する。この基板を硫黄化合物を溶解した溶液を浸すと、硫黄化合物が吸着する。接着材を弾き、接着されない。【解決手段】Si基板501上に金膜502を形成する。(4)に於いてレジスト膜503を露光・現像しノズルパターン504を形成する。(5)に於いて金膜502をエッチングする。(7)に於いてSi基板501をエッチングし、ノズル505が形成される。に(8)に於いて硫黄化合物の溶液に、このSi基板501を浸すことにより、金膜に硫黄化合物が吸着し、硫黄化合物膜506が形成される。

請求項（抜粋）：

キャビテイと、該キャビテイに体積変化を及ぼす加圧装置と、ノズル部材に形成されたインク滴を吐出せしめるノズルを有するインクジェットヘッドの製造方法において、前記ノズル面を形成するノズル部材上に金膜を形成する工程、前記金膜上にレジスト膜を形成する工程、該レジスト膜を所定のパターンで露光・現像する工程、該レジストをマスクとして前記金膜を所定の形状にエッチングする工程、前記レジスト膜を除去する工程、前記金膜をマスクとしてノズル部材をエッチングする工程、前記ノズル部材を、硫黄化合物を溶解した溶液に浸漬し、該金膜上に硫黄化合物層を形成する工程とからなることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/135

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 N

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