特許
J-GLOBAL ID：200903066656349839
圧電母材のスクライブ溝の形状
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-102822
公開番号（公開出願番号）：特開2000-294520
出願日： 1999年04月09日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：
【要約】【課題】 大面積の圧電母材上に複数の圧電振動素子を同時に形成してから個々の圧電振動素子に分割するバッチ処理を行う場合に、各圧電振動素子間の境界線に沿って形成するスクライブ溝の形状を改善することによって、バリを伴った分割不良の発生率を大幅に低減する。【解決手段】 複数の圧電素板30を縦方向、横方向へ夫々延びかつ互いに交差する複数のスクライブ溝を介して連結した圧電母材において、各スクライブ溝のうちの一方は連続スクライブ溝31であり、他方は連続スクライブ溝と交差する不連続スクライブ溝32であり、不連続スクライブ溝は、連続スクライブ溝を挟んで分離された複数の短尺溝32aから成り、短尺溝の内側端部と、連続スクライブ溝の側縁部からは夫々狭幅溝34,35を対向配置し、短尺溝側の挟幅溝と、連続スクライブ溝側の挟幅溝を回避した圧電母材面であって、挟幅溝の幅方向長の範囲内にキャビティ33を孤立配置した。
請求項（抜粋）：
複数の圧電素板を縦方向、横方向へ夫々延びかつ互いに交差する複数のスクライブ溝を介して連結した圧電母材において、上記各スクライブ溝のうちの一方は圧電素板間の直線状の境界線に沿って連続して延在する連続スクライブ溝であり、他方は連続スクライブ溝と交差する他の直線状の境界線に沿って不連続に延在する不連続スクライブ溝であり、上記不連続スクライブ溝は、連続スクライブ溝を挟んで分離された複数の短尺溝から成り、各短尺溝の内側端部と、該短尺溝の内側端部が対向する連続スクライブ溝の側縁部との間の母材面に、少なくとも一つのキャビティを孤立させ、上記短尺溝の内側端部からは、該短尺溝の一辺に沿って延び且つ該内側端部の幅よりも狭幅の挟幅溝を、連続スクライブ溝の側縁部に向けて突出し、連続スクライブ溝の側縁部からは、上記短尺溝の挟幅溝と不連続状態で対向するように対称的に挟幅溝を突出させ、上記短尺溝側の挟幅溝と、連続スクライブ溝側の挟幅溝を回避した圧電母材面であって、挟幅溝の幅方向長の範囲内に上記キャビティを孤立配置したことを特徴とする圧電母材のスクライブ溝の形状。
IPC (3件)：
H01L 21/301
, H01L 41/09
, H03H 3/02
H01L 21/78 L
, H03H 3/02 C
, H01L 41/08 C
