特許

J-GLOBAL ID：200903066669896715

除振装置

発明者： 渡辺 和英 ,  田納 雅人 ,  佐藤 一樹 ,  村上 力
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-030950
公開番号（公開出願番号）：特開2001-221282
出願日： 2000年02月08日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
要約：

【要約】【課題】 比較的簡単な構成で、除振台の固有振動数を下げ、かつ減衰を大きくすることができるようにした除振装置を提供する。【手段】 除振台10と該除振台10を防振支持する支持機構12とを有する除振装置において、両極に磁極24を配置した磁石22と、磁石22の少なくとも一方の磁極24と所定の空隙G1,G2を隔てて対向して配置され、磁極24から出る磁束を空隙G1,G2を介して少なくとも2方向に分岐通過させて磁石22の他の磁極24に戻す磁気回路を形成するヨーク26とを備え、除振台10の振動に伴って空隙G1,G2が分岐の方向に差動的に変化して磁束の分岐に変化が生じるようにしたダンパ装置20を装着した。

請求項（抜粋）：

除振台と該除振台を防振支持する支持機構とを有する除振装置において、両極に磁極を配置した磁石と、該磁石の少なくとも一方の磁極と所定の空隙を隔てて対向して配置され、前記磁極から出る磁束を前記空隙を介して少なくとも2方向に分岐通過させて前記磁石の他の磁極に戻す磁気回路を形成するヨークとを備え、除振台の振動に伴って前記空隙が分岐の方向に差動的に変化して前記磁束の分岐に変化が生じるようにしたダンパ装置を装着したことを特徴とする除振装置。

IPC (3件)：

F16F 15/03 ,  G05D 19/02 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

F16F 15/03 C ,  F16F 15/03 E ,  G05D 19/02 D ,  H01L 21/30 503 F ,  H01L 21/30 541 L

Fターム (15件)：

3J048AA02 ,  3J048AC08 ,  3J048BC02 ,  3J048BE02 ,  3J048CB12 ,  3J048CB21 ,  3J048CB22 ,  3J048DA01 ,  3J048EA07 ,  3J048EA13 ,  5F046AA23 ,  5F046CD01 ,  5F056CB24 ,  5F056EA12 ,  5F056EA17