特許
J-GLOBAL ID：200903066673290317
走査型荷電粒子線顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-044617
公開番号（公開出願番号）：特開平7-254387
出願日： 1994年03月16日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：
【要約】【目的】走査型電子顕微鏡のごとき荷電粒子線顕微鏡の走査条件の決定を自動化して、操作性を向上させる。【構成】制御装置10は、電子線による試料6の走査速度や積算枚数等の走査条件を順次変えながら、各走査条件毎に、検出回路10のフレームメモリに記憶した試料像信号と予め記憶したテンプレートとのパターンマッチングを行い、相関値の最も高い値を求める。制御装置10は、各走査条件毎に求めた相関値の最も高い値の中で最も高い値の走査条件を設定する。
請求項（抜粋）：
荷電粒子線で試料を走査し、それによって試料より得られる情報に基づいて、試料像を表示する走査型荷電粒子線顕微鏡において、前記試料像の一部をテンプレートとして記憶するテンプレート作成手段と、試料像と前記テンプレートとの相関値を走査領域内での検出対象領域を順次変えながら求め、相関値の最も高い値を求める相関値検出手段と、荷電粒子線の走査条件を変更する走査条件変更手段と、前記走査条件変更手段に走査条件を順次変更させると共に、各走査条件で前記位置検出手段の求めた相関値の最も高い相関値から所定の条件に基づいて走査条件を定め、該定めた走査条件を前記走査条件変更手段に設定させる制御手段と、を備えたことを特徴とする走査型荷電粒子線顕微鏡。
IPC (2件)：
H01J 37/22 502
, H01J 37/147
