特許
J-GLOBAL ID：200903066675075464
共焦点走査方式光学顕微鏡のスキャナー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂本 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-018119
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201321
出願日： 1993年01月08日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：
【要約】【目的】 直交する2方向とも信頼性の高い計測を行なうことができるようにする。【構成】 X-Yスキャナー110はX-Yステージ上に固定されたフレーム112にスプリング114,116を介して四辺形の内側のフレレーム118をY軸方向に移動可能に支持している。また、内側のフレーム118の内側にスプリング120,122を介して支持台124をX軸方向に移動可能に支持している。支持台124上には試料が真空吸着等で載置支持される。フレーム118は圧電素子126でY軸方向に駆動され、支持台124は圧電素子130でX軸方向に駆動される。試料上の計測パターンの方向等に応じて圧電素子126,136のうちの一方に振動電圧を印加し、他方に一定勾配で変化する電圧を印加して駆動する。
請求項（抜粋）：
圧電素子をアクチュエータとして第1の軸方向に駆動される第1のステージと、試料を保持して前記第1のステージ上で圧電素子をアクチュエータとして前記第1の軸と直交する第2の軸方向に駆動される第2のステージと、を具備してなる共焦点走査方式光学顕微鏡のスキャナー。
引用特許：
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