特許
J-GLOBAL ID：200903066685879464
材料管理装置及び材料管理方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-257483
公開番号（公開出願番号）：特開2002-215974
出願日： 2001年08月28日
公開日（公表日）： 2002年08月02日
要約：
【要約】【課題】 半導体製造ラインにおいて使用される材料の在庫・発注を効率的に適正量管理し得る材料管理装置及び材料管理方法を得る。【解決手段】 演算部11は、データ処理部10からデータD3を入力するとともに、演算部12からデータD6を入力する。データD3は、材料IDに関する情報と、第1の単位期間におけるウェハの処理予定数に関する情報とを含むデータである。また、データD6は、演算部12によって求められた、材料の耐久限界回数に関するデータである。そして、演算部11は、ウェハの処理予定数を材料の耐久限界回数で除算する演算を行うことにより、第1の単位期間内に処理が予定されているウェハの全てを処理するために必要な材料の個数(予測使用数)を求め、データD7として出力する。データD7は発注管理部4に入力される。
請求項（抜粋）：
稼働している製造ラインに関するデータに基づいて、装置部品を含む材料の、単位期間内における予測使用数を算出する予測使用数算出部と、前記材料の在庫をデータ上で管理する在庫管理部と、前記予測使用数算出部からの前記予測使用数のデータと、前記在庫管理部からの前記材料の現在在庫数のデータとに基づいて、前記材料の発注数に関するデータを出力する発注管理部とを備える材料管理装置。
IPC (5件)：
G06F 17/60 318
, G06F 17/60 106
, G06F 17/60 320
, G05B 19/418
, H01L 21/02
G06F 17/60 318 G
, G06F 17/60 106
, G06F 17/60 320
, G05B 19/418 Z
, H01L 21/02 Z
3C100AA45
, 3C100BB05
, 3C100BB36
, 3C100BB38
, 3C100EE06
