特許

J-GLOBAL ID：200903066701710556

光てこ式傾き検出装置

発明者： 井坂 徹 ,  戸田 明敏 ,  上原 靖弘
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-120739
公開番号（公開出願番号）：特開2001-304833
出願日： 2000年04月21日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、検出対象物に対する傾き検出、光学系のフォーカス調整の迅速化、高精度化を実現し得る光てこ式傾き検出装置を提供する。【解決手段】 光源1から出射された検出光を、コリメートレンズ5を経て電動部8上に載置した傾き検出対象物に入射し、前記傾き検出対象物からの反射光を検出して前記傾き検出対象物の検出光の光軸に対する傾きを検出する傾き検出手段と、光源1とは別の光源11から出射されたフォーカス光をコリメートレンズ5を経て電動部8上の傾き検出対象物に入射し、フォーカス光の反射光と検出光の反射光とをCCDカメラ9により観察して、検出光、フォーカス光の光軸合わせを行う光軸合わせ手段と、フォーカス光の反射光を2分割検出器17により検出し、その検出信号を基にフォーカス用レンズに対する電動部8を光軸方向に変動させて、検出光の傾き検出対象物に対するフォーカス合わせを行うフォーカス調整手段とを有するものである。

請求項（抜粋）：

光源から出射された検出光を、フォーカス用レンズを経て光軸方向に変動可能な位置調整台上に載置した傾き検出対象物に入射し、前記傾き検出対象物からの反射光を検出して前記傾き検出対象物の検出光の光軸に対する傾きを検出する傾き検出手段と、前記光源とは別の光源から出射されたフォーカス光を前記フォーカス用レンズを経て位置調整台上の傾き検出対象物に入射するとともに、フォーカス光の反射光と前記検出光の反射光とを観察部により観察して、検出光、フォーカス光の光軸合わせを行う光軸合わせ手段と、前記フォーカス光の反射光を検出器により検出し、その検出信号を基に前記フォーカス用レンズに対する位置調整台の位置を光軸方向に変動させて、前記検出光の傾き検出対象物に対するフォーカス合わせを行うフォーカス調整手段と、を有することを特徴とする光てこ式傾き検出装置。

IPC (2件)：

G01B 11/26 ,  G01N 13/16

FI (2件)：

G01B 11/26 Z ,  G01N 13/16 A

Fターム (31件)：

2F065AA17 ,  2F065AA19 ,  2F065AA20 ,  2F065AA35 ,  2F065BB01 ,  2F065BB25 ,  2F065BB29 ,  2F065DD02 ,  2F065DD06 ,  2F065FF09 ,  2F065FF44 ,  2F065FF49 ,  2F065GG13 ,  2F065GG23 ,  2F065HH04 ,  2F065HH08 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ23 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ29