特許

J-GLOBAL ID：200903066701852660

異物検出装置及び露光装置

発明者： 奈良 圭
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 平木 祐輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-026547
公開番号（公開出願番号）：特開2002-228428
出願日： 2001年02月02日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：

【要約】【課題】 液晶ディスプレイパネルや集積回路の製造工程において、散乱光強度分布から異物のサイズを判定できる異物検出装置を提供し、効率良く露光できる露光装置を提供する。【解決手段】 ペリクル4を張ったマスク2を被検体とし、ペリクル4の検査領域4aを照明手段5で照明し、対物レンズ7によりペリクル4上の異物Pの像をCCD6に結像させる。CCD6からの検出信号を、マスク2の座標信号と共に信号処理手段20に取り込み、二次元の散乱光強度マップMを作成し、その分布に基づいて異物Pのサイズを判定する。マスク2と、CCD6及び対物レンズ7とを相対的に移動させる駆動手段10を備える。

請求項（抜粋）：

被検体に付着した異物を検出する異物検出装置において、前記被検体の検査領域を照明する照明手段と、ほぼ連続して配置された複数の光検出素子を備え、前記照明された検査領域の異物からの散乱光を検出する光検出手段と、前記検査領域における前記異物の像を前記光検出手段上に結像する検出光学系と、前記光検出手段からの信号を処理する信号処理手段とを備え、前記信号処理手段は、前記光検出手段において前記散乱光を連続的に検出した光検出素子の数に基づいて異物のサイズを判定することを特徴とする異物検出装置。

IPC (6件)：

G01B 11/28 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/956 ,  G03F 1/08 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (7件)：

G01B 11/28 Z ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/956 A ,  G03F 1/08 S ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 502 P ,  H01L 21/30 514 E

Fターム (56件)：

2F065AA49 ,  2F065AA58 ,  2F065BB02 ,  2F065CC18 ,  2F065DD06 ,  2F065FF42 ,  2F065FF67 ,  2F065GG02 ,  2F065GG07 ,  2F065GG08 ,  2F065GG14 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL03 ,  2F065LL12 ,  2F065MM03 ,  2F065NN02 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ05 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ36 ,  2F065QQ51 ,  2F065RR05 ,  2G051AA56 ,  2G051AA73 ,  2G051AB01 ,  2G051BA01 ,  2G051BA20 ,  2G051BB09 ,  2G051BB17 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051CB05 ,  2G051CC07 ,  2G051CD03 ,  2G051CD07 ,  2G051DA06 ,  2G051DA07 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051EA24 ,  2G051EA30 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2H095BD05 ,  2H095BD12 ,  2H095BD15 ,  2H095BD24 ,  5F046AA18 ,  5F046BA05 ,  5F046CB17