特許
J-GLOBAL ID：200903066702057708
加熱装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅野 中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-331768
公開番号（公開出願番号）：特開平6-181173
出願日： 1992年12月11日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：
【要約】【目的】 ホットプレートの温度を一定に保ったままでウェハの処理温度を変化させる。【構成】 ウェハ1はプロキシミティピン3上に支持され、ウェハ1の下面にはホットプレート2が配置されている。プロキシミティピン3は、プーリー6,タイミングベルト8,サーボモータ7により、上下に移動される。このため、ウェハとホットプレートの間隔(プロキシミティギャップ)を可変することができ、ホットプレート温度を一定に保ったままでウェハの処理温度を変えることが可能となる。
請求項（抜粋）：
ホットプレートと、プロキシミティピンと、高さ調整機構とを有する加熱装置であって、ホットプレートは、一定温度に温度調整され、ウェハを加熱するものであり、プロキシミティピンは、ホットプレートで加熱される位置にウェハを支持し、ホットプレートに対して昇降するものであり、高さ調整機構は、プロキシミティピンのホットプレートに対する高さを変化させるものであることを特徴とする加熱装置。
引用特許：
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