特許

J-GLOBAL ID：200903066706573492

走査電子顕微鏡

発明者： 鈴木 宏征 ,  高島 雅也 ,  伊東 祐博
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-079147
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277044
出願日： 1999年03月24日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、EBSP検出器による結晶方位・結晶構造解析を専用試料ホルダーを用いて容易にできる手段と方法を提供することにある。【解決手段】弾性散乱反射電子を検出するのに最適な傾斜角度を持った専用の樹脂包埋試料も固定可能で、EBSP検出器キャリブレーション試料固定部とファラデーカップを装備した試料ホルダーを用い、この専用の試料ホルダーとモータードライブ試料ステージの組合せにより容易な視野移動が可能となることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

試料の表面に電子線を収束して照射し、前記電子線の照射によって試料表面から発生した弾性散乱反射電子を検出できる検出器を有する走査電子顕微鏡において、試料ホルダーを70度傾斜させ、専用のオートステージによりステージ駆動できることを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/28

FI (2件)：

H01J 37/20 D ,  H01J 37/28 B

Fターム (6件)：

5C001AA01 ,  5C001AA04 ,  5C001AA05 ,  5C001CC04 ,  5C033UU03 ,  5C033UU04