特許
J-GLOBAL ID：200903066709689378
音声入出力装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-345504
公開番号（公開出願番号）：特開平7-184297
出願日： 1993年12月22日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：
【要約】【目的】 消費電力が小さく、小型の音声入出力装置を提供する。【構成】 Si半導体基板11に振動可能な薄膜12を設け、該薄膜12の外側に電極17を形成し、上記Si半導体基板11とは支持体15を介して対向基板13を配置し、該対向基板13の内側表面に電極14を形成してなる装置であって、入射した音波による薄膜12の振動を上記一対の電極間の容量変化として検出し、該一対の電極への電圧印加により静電力によって上記薄膜12を振動させることにより、音声の入出力を行なう音声入出力装置装置。
請求項（抜粋）：
半導体基板上の少なくとも一部の開口部に形成された振動可能な薄膜の外側に一方の電極を形成し、上記半導体基板とは支持体を介して対向配置するもう一方の基板の内側表面に他方の電極を形成したことを特徴とする音声入出力装置。
IPC (2件)：
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