特許
J-GLOBAL ID：200903066711779961
IC試験装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-324151
公開番号（公開出願番号）：特開平9-325173
出願日： 1996年12月04日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：
【要約】【課題】 汎用トレイからテストトレイにICを積み換えてICをテストするIC試験装置において、試験済のICをテストトレイから汎用トレイに戻す際にテストトレイにICを取り残した場合、その取り残されたICの上に更に新たなICを積ねてテスト部に送り込むことのないIC試験装置及びICを積み込んだ状態のテストトレイからICが落下して紛失したことを検出することができるIC試験装置を提供する。【解決手段】 アンローダ部とローダ部との間、或いはローダ部とテスト部の間、更にはテスト部とアンローダ部の間にテストトレイ上にICが存在するか否かを検出するIC検出センサを設け、このIC検出センサによってテストトレイ上のIC収納部が空であるか否かを監視する。
請求項（抜粋）：
ローダ部において被試験ICを汎用トレイからテストトレイに積み換え、テスト部においてICを試験し、試験終了後はアンローダ部でテストトレイから汎用トレイに試験済ICを積み換え、空のテストトレイをアンローダ部からローダ部に送り込んで被試験ICをテストトレイに積み込むことを繰返すIC試験装置において、アンローダ部とローダ部との間にテストトレイ上にICが存在するか否かを監視するIC検出センサを設け、ローダ部に送り込むテストトレイ上にICが取り残されている状態を検出できるように構成したことを特徴とするIC試験装置。
IPC (4件)：
G01R 31/26
, G01V 8/20
, G01V 8/12
, H01L 23/32
G01R 31/26 Z
, H01L 23/32 A
, G01V 9/04 Q
, G01V 9/04 H
