特許

J-GLOBAL ID：200903066713057130

金属球配列装置及び配列方法

発明者： 林 伸光 ,  加藤 幸平
出願人/特許権者： 株式会社日鉄マイクロメタル
代理人 (1件)： 岸田 正行 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-245284
公開番号（公開出願番号）：特開平11-087901
出願日： 1997年09月10日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：

【要約】【課題】 金属球を金属球配列対象に配列するための方法及び装置において、規格下限を外れる直径の小さな金属球および混入したゴミを金属球配列治具に金属球を吸着する前に排除し、金属球の配列失敗を防止する。【解決手段】 金属球配列治具の金属球吸着孔に対応する位置に金属球を保持する保持孔であってその開口部の断面形状が直径最大値の金属球が通過可能な形状であり奥側の断面形状が直径最小値の金属球より大きい径の金属球が通過不可能で小さい径の金属球が通過可能な形状である保持孔を有する仮配列板を用意し、仮配列板の保持孔に金属球を仮配列し、次いで該仮配列した金属球を金属球配列治具の金属球吸着孔に吸着し、更に金属球配列対象に転写する金属球配列方法及び装置。

請求項（抜粋）：

金属球吸着孔を配置した金属球配列治具の該金属球吸着孔に金属球を吸着し、次いで該吸着した金属球群を金属球配列対象に転写して金属球を金属球配列対象に一括搭載する金属球配列方法において、予め前記金属球配列治具の金属球吸着孔に対応する位置に金属球を保持する保持孔であってその開口部の断面形状が直径最大値の金属球が通過可能な形状であり奥側の断面形状が直径最小値の金属球より大きい径の金属球が通過不可能で小さい径の金属球が通過可能な形状である保持孔を有する仮配列板の該保持孔に金属球を仮配列し、次いで該仮配列板に仮配列した金属球を前記金属球配列治具の金属球吸着孔に吸着することを特徴とする金属球配列方法。

IPC (6件)：

H05K 3/34 505 ,  B23P 19/00 301 ,  B25J 15/06 ,  H01L 21/60 311 ,  H01L 23/12 ,  H01L 21/60

FI (7件)：

H05K 3/34 505 A ,  B23P 19/00 301 A ,  B25J 15/06 K ,  H01L 21/60 311 S ,  H01L 23/12 L ,  H01L 21/92 604 H ,  H01L 21/92 604 Z