特許

J-GLOBAL ID：200903066721523736

微細粒状スペーサの散布方法

発明者： 西嶋 啓
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-233960
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082796
出願日： 1992年09月02日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：

【要約】【目的】 微細粒状スペーサの散布方法に関し、プロッキングスペーサとしみ模様をなくすことを目的とする。【構成】 多数の微細粒状スペーサ4を懸濁する液体26の気化促進温度に加熱したチャンバ8内において、スペーサ4を散布すべき基板2の上方に対向するノズル9より基板2に向けてスペーサ4を懸濁した懸濁液27を噴射せしめると共に、ノズル9の近傍においてほぼ水平方向に噴射する圧気31をノズル9より噴射した懸濁液27に向けて噴射するように構成する。

請求項（抜粋）：

多数の微細粒状スペーサ(4) を懸濁する液体(26)の気化促進温度に加熱したチャンバ(8) 内において、該スペーサ(4) を散布すべき基板(2)の上方に対向するノズル(9) より該基板(2) に向けて該スペーサ(4) を懸濁した懸濁液(27)を噴射せしめると共に、該ノズル(9) の近傍においてほぼ水平方向に噴射する圧気(31)を該ノズル(9) より噴射した該懸濁液(27)に向けて噴射することを特徴とする微細粒状スペーサの散布方法。