特許

J-GLOBAL ID：200903066735570877

アクリロイルジメチルナフタレン化合物及びその中間体並びに製造方法及びそれを含有する重合体。

発明者： 遠藤 剛 ,  串田 真美 ,  原 貴子
出願人/特許権者： 株式会社ジャパンエナジー
代理人 (1件)： 山口 和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-065637
公開番号（公開出願番号）：特開平9-255726
出願日： 1996年03月22日
公開日（公表日）： 1997年09月30日
要約：

【要約】【課題】 高い耐熱性と汎用有機溶媒に対する易溶性を有し、電子線やX線やイオンビームでのパターン作成ができ、高密度化・高集積化の要求に合った微細加工用レジスト剤ポリマーとして使用可能な新規なポリマー及びそのモノマーならびにその製法と中間原料の提供。【解決手段】 アクリロイルジメチルナフタレン化合物を重合またはMMAと共重合することにより上記特性を有するポリマーが得られる。アクリロイルジメチルナフタレン化合物はジメチルナフタレンとハロプロピオニルハライドとのフリーデル-クラフツ反応により得られるハロプロピオニルジメチルナフタレン化合物を相間移動触媒の存在下に、アルカリを用い、脱ハロゲン化水素を行なうことにより得られる。

請求項（抜粋）：

下記一般式(I)【化1】で表されるアクリロイルジメチルナフタレン化合物。

IPC (7件)：

C08F 16/36 MLC ,  B01J 27/125 ,  B01J 27/135 ,  B01J 31/02 102 ,  C07C 45/65 ,  C07C 49/796 ,  C07B 61/00 300

FI (7件)：

C08F 16/36 MLC ,  B01J 27/125 X ,  B01J 27/135 X ,  B01J 31/02 102 Z ,  C07C 45/65 ,  C07C 49/796 ,  C07B 61/00 300