特許
J-GLOBAL ID:200903066736691490
表面プラズモン共鳴角検出装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
伊藤 研一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-098357
公開番号(公開出願番号):特開平11-271215
出願日: 1998年03月25日
公開日(公表日): 1999年10月05日
要約:
【要約】【課題】少なくとも異なる2波長の光による共鳴角を検出して物質をリアルタイムに特定したり、その膜厚や誘電率をリアルタイムに検出することができるSPR検出装置の提供。検出作業を効率的に行うことができるSPR検出装置の提供。【解決手段】少なくとも異なる2波長の光を所要の角度差を持ってガラス基板の表面に所要の膜厚及び誘電率の金属薄膜が形成されると共に該金属薄膜と反対側のガラス基板にプリズムが密着されたセンサーチップ上に対し、可変光照射装置により各光の入射角度を可変させる。センサーチップに照射される光の反射率が最小になる共鳴角に基づいて金属薄膜に吸着された試料成分を特定したり、試料の膜厚や誘電率を測定する。
請求項(抜粋):
ガラス基板の表面に所要の膜厚及び誘電率の金属薄膜が形成されると共に該金属薄膜と反対側のガラス基板にプリズムが密着されたセンサーチップに照射される光の反射率が最小になる共鳴角に基づいて金属薄膜に吸着された試料成分を特定したり、該試料の膜厚や誘電率を測定する表面プラズモン共鳴角検出装置において、少なくとも異なる2波長の光を所要の角度差を持ってセンサーチップ上に照射すると共にセンサーチップに対する各光の入射角度を可変させる可変光照射装置を設けた表面プラズモン共鳴角検出装置。
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