特許

J-GLOBAL ID：200903066739538544

光ディスク原盤露光装置

発明者： 菊入 信孝
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 外川 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-041976
公開番号（公開出願番号）：特開平9-231622
出願日： 1996年02月29日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】従来は記録用レーザ光源を冷却するための冷却水の循環による振動が光ディスク原盤への情報の記録の際の露光光に影響し光ディスク原盤のトラックピッチむらになりトラックピッチ精度が劣化することが問題であった。【解決手段】定盤1上には一軸方向に移動可能なスライダ7と独立して記録用レーザ光源10を設ける。スライダ7には露光光のz軸方向の調整を行うz軸テーブル8と露光光を光ディスク原盤6上に結像する対物レンズ9とが設けられている。記録用レーザ光源10はテーブル13上に設けられており、記録用レーザ光源10からスライダ7へ伝わる振動はテーブル13が記録用レーザ光源10の移動とは独立して移動することによってスライダ7に伝わらない様にしている。この様な構成により露光時に発生する振動によるトラックピッチ精度の劣化を抑制している。

請求項（抜粋）：

レーザ光源から出射される露光光を、光学系を具備したスライダを用いて光ディスク原盤に導き、該光ディスク原盤に露光を行う光ディスク原盤露光装置において、前記レーザ光源は前記スライダの移動方向と同一方向で、前記スライダの移動と独立して移動可能な可動手段に搭載されることを特徴とする光ディスク原盤露光装置。