特許

J-GLOBAL ID：200903066753415390

ペルフルオロシクロブタン基を含有する光画像形成ポリマー

発明者： バッブ,デビッド エー. ,  リッチェイ,ダブリュ.フランク ,  クレメント,キャサリーン エス. ,  モイヤー,エリック エス. ,  ソレンソン,マリアス ダブリュ.
出願人/特許権者： ザ ダウ ケミカル カンパニー
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-515164
公開番号（公開出願番号）：特表平8-505168
出願日： 1993年12月01日
公開日（公表日）： 1996年06月04日
要約：

【要約】ポリマーは少なくとも1個の光活性サイトおよび1個より多くのペルフルオロシクロブタン基を有する。光活性サイト若しくは光活性プリカーサーおよび少なくとも1個のペルフルオロビニル基を含む新規のモノマーはこのようなポリマーを製造するのに有用である。このようなポリマーおよびモノマーを製造する方法を開示する。このポリマーは、コーティング、フォトレジストおよび他の光活性用途に有用である。

請求項（抜粋）：

少なくとも1個の光活性サイトおよび1個より多くのペルフルオロシクロブタン基を含むポリマー。

IPC (6件)：

C08F 14/18 MKS ,  C08F 16/32 MKZ ,  C08F 16/32 MLA ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/038 ,  H01L 21/027